½ð²©±¦ÍøÕ¾-ä¸é”™çš„废气处ç†è®¾å¤‡å“ªå®¶æ£è§„ï¼Œä¸‰æ˜Žå¤©äº¿é‘«è¯šæœºæ¢°è®¾å¤‡åˆ¶é€ æœ‰é™å…¬å¸å§‹ç»ˆè´¯å½»è¯šä¿¡ç»è¥çš„ç†å¿µï¼Œå…¨ä½“员工视质é‡ä¸ºç”Ÿå‘½ï¼Œä¸ºç”¨æˆ·ç¾¤ä½“æä¾›å®Œå–„çš„å”®åŽæœåŠ¡ï¼Œå§‹ç»ˆæŠŠå®¢æˆ·æ»¡æ„度放在首ä½ã€‚
ã€SiC æ™¶åœ†åˆ¶é€ è®¾å¤‡åœ¨åˆ¶ç¨‹ä¸Š, SiC芯片大部分的工艺æµç¨‹ä¸Žç¡…基器件类似,ä¸»è¦æ¶‰åŠæ¸…洗机ã€å…‰åˆ»æœºã€LPCVD (ä½ŽåŽ‹åŒ–å¦æ°”相沉积)ã€è’¸é•€ç‰å¸¸è§„设备,但SiC芯片制备还需è¦ä¸€äº›ç‰¹æ®Šçš„生产设备,é™¤äº†é«˜æ¸©ç¦»åæ³¨å…¥æœºå¤–, SiC还需è¦ç‰¹æ®Šçš„高温çƒå¤„ç†è®¾å¤‡(高温退ç«ç‚‰ã€é«˜æ¸©æ°§åŒ–炉ã€ç¢³è†œæº…射仪ç‰),而且在刻蚀ã€å‡è–„ç‰çŽ¯èŠ‚ä¹Ÿéœ€è¦ç‰¹æ®Šè®¾å¤‡ã€‚æ·»åŠ å›¾ç‰‡æ³¨é‡Šï¼Œä¸è¶…过 140 å—(å¯é€‰ï¼‰ä¸å›½ç”µç§‘48所是国内拥有SiCæ ¸å¿ƒå·¥è‰ºè®¾å¤‡å…¨çš„å•ä½,在国内率先实现了外延ã€é«˜æ¸©ç¦»å注入ã€é«˜æ¸©æ°§åŒ–ã€é«˜æ¸©æ¿€æ´»ç‚‰ã€ç¢³è†œæº…射设备ã€LPVCD以åŠé€€ç«è®¾å¤‡ç‰è®¾å¤‡ç ”å‘åŠéªŒè¯åº”ç”¨ï¼Œå¹¶å½¢æˆæˆå¥—应用æ€åŠ¿ã€‚æ¤å¤–,他们还通过整åˆä¸å›½ç”µç§‘集团其他装备的技术,并结åˆä¹‹å‰çš„8时硅基整线建设ç»éªŒ,æ£åœ¨å®žçŽ°ä»Žæä¾›å±€éƒ¨æˆå¥—设备到æä¾› SiCèŠ¯ç‰‡åˆ¶é€ æ•´çº¿é›†æˆæœåŠ¡çš„å¸ƒå±€ã€‚
MRI是一ç§é«˜åº¦å¤æ‚çš„åŒ»å¦æˆåƒæŠ€æœ¯ï¼Œå®ƒåˆ©ç”¨ç£åœºå’Œæ— å®³çš„æ— çº¿ç”µæ³¢æ¥ç”Ÿæˆèº«ä½“内部的详细图åƒã€‚MRI设备由大型ç£ä½“ã€å°„频线圈和计算机系统组æˆã€‚它的工作原ç†å¯ä»¥ç®€åŒ–为以下æ¥éª¤ï¼šåˆ›å»ºå¼ºç£åœºï¼šMRI设备内的超导ç£ä½“产生æžå¼ºçš„ç£åœºï¼Œé€šå¸¸æ˜¯é™æ€ç£åœºã€‚这个ç£åœºå¯¹äººä½“å†…çš„åŽŸåæ ¸ï¼ˆé€šå¸¸æ˜¯æ°¢æ ¸ï¼‰æœ‰å½±å“,使它们æœå‘ç£åœºæ–¹å‘排列。应用射频脉冲:通过射频线圈,系统å‘é€å°„é¢‘è„‰å†²ï¼Œè¿™äº›è„‰å†²èƒ½å¤Ÿæ‰°åŠ¨æ°¢æ ¸çš„è‡ªæ—‹æ–¹å‘ã€‚ä¿¡å·æ£€æµ‹ï¼šå½“å°„é¢‘è„‰å†²åœæ¢åŽï¼Œæ°¢æ ¸å¼€å§‹æ¢å¤åŽŸæ¥çš„自旋方å‘。这个过程产生的信å·é€šè¿‡å°„é¢‘çº¿åœˆæ£€æµ‹ï¼Œå¹¶ä¼ é€åˆ°è®¡ç®—机系统进行处ç†ã€‚图åƒé‡å»ºï¼šè®¡ç®—æœºç³»ç»Ÿæ ¹æ®æŽ¥æ”¶åˆ°çš„ä¿¡å·æ•°æ®é‡å»ºå›¾åƒï¼Œæ˜¾ç¤ºèº«ä½“内部的组织结构。为什么MRI设备ä¸èƒ½å…³æœºï¼ŸMRI设备之所以ä¸èƒ½éšæ„å…³æœºï¼Œæ˜¯å› ä¸ºå®ƒä»¬éœ€è¦ç»´æŒç¨³å®šçš„ç£åœºã€‚å…³é—ç£ä½“会导致ç£åœºçš„æ¶ˆå¤±ï¼Œè¿™å°†å¯¹è®¾å¤‡å’Œç£ä½“本身产生ä¸å¯é€†çš„æŸå®³ï¼Œä¿®å¤æˆæœ¬é«˜æ˜‚,而且需è¦å¾ˆé•¿æ—¶é—´ã€‚å› æ¤ï¼Œä¸ºäº†ä¿æŠ¤è®¾å¤‡å’Œç¡®ä¿å…¶æ£å¸¸è¿è¡Œï¼ŒMRIè®¾å¤‡é€šå¸¸ä¿æŒå¼€æœºçжæ€ã€‚
从SiC衬底ã€å¤–å»¶ã€èŠ¯ç‰‡åˆ°æ¨¡å—,涉åŠå•æ™¶ã€åˆ‡ç£¨æŠ›ã€å¤–å»¶ã€ç¦»å注入ã€çƒå¤„ç†ç‰å…³é”®è£…备,éšç€æ•´ä½“市场的蓬勃å‘展,设备需求迎æ¥äº†æœºé‡æœŸã€‚一ã€SiC 啿™¶ç”Ÿé•¿è®¾å¤‡SiC PVT生长设备是国产化较高的设备,其难点在于需è¦è§£å†³SiC晶体生长难度大ã€é‡å¤æ€§ä½Žã€ç”Ÿé•¿è‰¯çŽ‡ä½Žã€é•¿æ™¶å·¥è‰ºå„ä¸ç›¸åŒä»¥åŠè®¾å¤‡é«˜åº¦å®šåˆ¶åŒ–ç‰æŒ‘战,未æ¥è®¾å¤‡æŠ€æœ¯å°†æœç€è‡ªåŠ¨åŒ–ã€é«˜å·¥è‰ºé‡å¤æ€§ã€æå‡æ™¶ä½“生长良率和厚度以åŠ8时大直径长晶方å‘å‘展。国内第方设备供应商主è¦åŒ…括北方åŽåˆ›ã€æ’普技术ã€ç§‘å‹åŠå¯¼ä½“ã€ä¸å›½ç”µç§‘2所ã€ä¼˜æ™¶ç§‘æŠ€ã€æ™¶å‡è£…备ã€å²šé²¸å…‰ç”µã€è¿žåŸŽæ•°æŽ§ã€åŠ›å† å¾®ç”µåç‰;å›½å¤–ä¾›åº”å•†åŒ…æ‹¬æ—¥æ–°æŠ€ç ”ã€Aymontã€PVA Tepla以åŠç¾Žå›½CVD设备ç‰ã€‚
摘è¦ï¼šåœ¨æ°´å¤„ç†è¡Œä¸šä¾›é…电系统ä¸ï¼Œæ¶‰åŠæ›æ°”é£Žæœºã€æå‡æ³µã€æ±¡æ³¥è„±æ°´è®¾å¤‡ç‰æ„Ÿæ€§è´Ÿè·è®¾å¤‡ï¼Œå¯¼è‡´å¼‚æ¥ç”µåŠ¨æœºäº§ç”Ÿè¾ƒå¤šæ— åŠŸåŠŸçŽ‡å’Œå¤§é‡çš„è°æ³¢ï¼Œä½¿éƒ¨åˆ†è®¾å¤‡è¡¨çŽ°å‡ºè½»è½½æˆ–ä¸æ»¡è½½è¿è¡Œçж况é™ä½ŽåŠŸçŽ‡å› æ•°ï¼Œä»¥åŠè°æ³¢å¯¹é…电系统ã€è´Ÿè½½äº§ç”Ÿè¾ƒå¤§çš„å±å®³ã€‚å°±æ¤ï¼Œæ°´å¤„ç†è¡Œä¸šéœ€æé«˜å¯¹ç”µèƒ½è´¨é‡çš„é‡è§†ï¼Œé€šè¿‡æœ‰æ•ˆçš„æ— 功补å¿ã€è°æ³¢æ²»ç†æŽªæ–½ï¼Œè°ƒèŠ‚åŠŸçŽ‡å› æ•°å’Œæ»¤é™¤è°æ³¢ï¼Œä»Žè€ŒèŠ‚èƒ½é™è€—。关键è¯ï¼šæ°´å¤„ç†è¡Œä¸šä¾›é…ç”µç³»ç»Ÿï¼›æ— åŠŸåŠŸçŽ‡ï¼›è°æ³¢ï¼›åŠŸçŽ‡å› æ•°ï¼›ç”µèƒ½è´¨é‡åœ¨é…电系统ä¸ï¼Œå¦‚果容é‡è¿‡å¤§ï¼ŒæŠ€æœ¯äººå‘˜ä¼šé…ç½®æ— åŠŸè¡¥å¿è£…置,用于æå‡è®¾å¤‡çš„åŠŸçŽ‡å› æ•°ï¼Œå‡å°‘é…电网的æŸè€—ã€‚åœ¨æŸæ±¡æ°´å¤„ç†åŽ‚ä¸ï¼Œæ£€æµ‹äººå‘˜å¯¹å˜åŽ‹å™¨è¿›è¡ŒçŸæ—¶é—´æ£€æµ‹ï¼Œè™½ç„¶æ£€æµ‹ç»“果表明,å˜åŽ‹å™¨åœ¨è´Ÿè½½ä½ŽäºŽ25%çš„å·¥å†µä¸‹ï¼ŒåŠŸçŽ‡å› æ•°å¤§äºŽ0.9ï¼Œæ€»è°æ³¢ç•¸å˜çŽ‡ä½ŽäºŽ5%ï¼Œæ»¡è¶³å›½å®¶æ ‡å‡†ã€‚ä½†ç»“åˆçŽ°åœºå‹˜æŸ¥ç»“æžœä¸Žæ£€æµ‹æ•°æ®ï¼Œåˆ†æžè¯¥æ±¡æ°´å¤„ç†åŽ‚ åœ¨æ— åŠŸè¡¥å¿æ–¹é¢ä»å˜åœ¨ä¸è¶³ã€‚工艺设备ä¸è´Ÿè·é‡è¦çš„设备(é‡è¦å·¥æ®µçš„æ°´æ³µã€é¼“风机ç‰)和设备组(污泥脱水åŠå¹²åŒ–系统 ã€åŠ è¯ç³»ç»Ÿç‰)å‡ç”±å˜é…电室0.4kV系统放射å¼ä¾›ç”µã€‚
利用工业固体废弃物生产å¤åˆææ–™ã€å°¾çŸ¿å¾®æ™¶çŽ»ç’ƒã€è½»è´¨å»ºæã€åœ°è†œã€æ°´æ³¥æ›¿ä»£ç‰©ã€å·¥ç¨‹ç»“构制å“ç‰æŠ€æœ¯åŠè®¾å¤‡ï¼Œç”µåŽ‚ç²‰ç…¤ç°åŠç…¤çŸ¿çŸ¸çŸ³ã€å†¶é‡‘废渣ç‰åºŸå¼ƒç‰©çš„资æºå›žæ”¶ä¸Žç»¼åˆåˆ©ç”¨æŠ€æœ¯ï¼ŒåºŸæ—§å®¶ç”µã€æ±½è½¦ç‰åºŸå¼ƒç‰©èµ„æºåŒ–å¤„ç†æˆå¥—设备,废旧轮胎综åˆåˆ©ç”¨æŠ€æœ¯åŠè®¾å¤‡ï¼ŒçŸ¿å±±å°¾çŸ¿èµ„æºç”Ÿæ€åž‹ç®¡ç†ä¸Žç»¼åˆåˆ©ç”¨æŠ€æœ¯ï¼Œå¤åˆå¢™ä½“技术,纳米å”超级ç»çƒææ–™ç”Ÿäº§åˆ©ç”¨æŠ€æœ¯ï¼Œåˆ©ç”¨å†œä½œç‰©ç§¸ç§†ç‰åºŸå¼ƒæ¤ç‰©çº¤ç»´ç”Ÿäº§å¤åˆæ¿æåŠå…¶ä»–建æåˆ¶å“的技术åŠè£…备。