½ð²©±¦ÍøÕ¾-ç²¾é€‰ä¼˜è¯„ï¼æ¹–北真空气氛箱å¼ç”µç‚‰è¿‘æœŸä»·æ ¼(2024已更新)(今日/优选)ï¼Œå…¬å¸æœ¬ç€æ±‚真务实ã€ç§‘技创新ã€è´¨é‡ä¸ºä¸Šã€ç”¨æˆ·ä¸ºæœ¬çš„åŽŸåˆ™ï¼Œä¸æ–引进国内外先进技术和现代管ç†ç»éªŒï¼Œåˆ¶å®šäº†ä¸¥è°¨çš„å·¥è‰ºæ ‡å‡†ï¼Œä¸¥æ ¼çš„è´¨é‡æŽ§åˆ¶ä½“ç³»å’Œæ£€æµ‹æ‰‹æ®µã€‚
½ð²©±¦ÍøÕ¾-ç²¾é€‰ä¼˜è¯„ï¼æ¹–北真空气氛箱å¼ç”µç‚‰è¿‘æœŸä»·æ ¼(2024已更新)(今日/优选), 钛的主è¦ç‰¹ç‚¹æ˜¯å¯†åº¦å°ï¼Œæœºæ¢°å¼ºåº¦å¤§ï¼Œå®¹æ˜“åŠ å·¥ã€‚é’›çš„å¡‘æ€§ä¸»è¦ä¾èµ–于纯度。有良好的抗è…蚀性能,ä¸å—大气和海水的影å“。在常温下,ä¸ä¼šè¢«ç¨€ã€ç¨€ç¡«é…¸ã€ç¡é…¸æˆ–稀碱溶液所è…èš€ï¼›åªæœ‰æ°¢æ°Ÿé…¸ã€çƒçš„æµ“ã€æµ“ç¡«é…¸ç‰æ‰å¯å¯¹å®ƒç”¨ã€‚çœŸç©ºé€€ç«æ˜¯å…¶ä¸é—´å’Œæˆå“生产的é‡è¦å·¥è‰ºè¿‡ç¨‹ã€‚ä»¥æ¶ˆé™¤åŠ å·¥ç¡¬åŒ–å’Œæ¢å¤å¡‘æ€§ã€‚åŠ çƒé€€ç«å¤„ç†çš„æ–¹æ³•很多,但采用真空退ç«å¯¹é’›ç®¡æè¿›è¡Œé€€ç«å¤„ç†ï¼Œæ˜¯ç¨€æœ‰é‡‘å±žåŠ å·¥é¢†åŸŸä¸€é¡¹è¾ƒæ–°çš„æŠ€æœ¯å’Œå·¥è‰ºã€‚å®ƒä»¥çƒå¤„ç†æ¸…æ´ã€ç»æµŽã€æ— æ±¡æŸ“ã€æ— 氧化ã€å˜å½¢å°çš„特点越æ¥è¶Šå¼•起人们的é‡è§†ã€‚
快速退ç«ç‚‰é‡‡ç”¨å…ˆè¿›çš„微电脑控制系统,采用PIDé—环控制温度,å¯ä»¥è¾¾åˆ°æžé«˜çš„æŽ§æ¸©ç²¾åº¦å’Œæ¸©åº¦å‡åŒ€æ€§ï¼Œå¹¶ä¸”å¯é…ç½®çœŸç©ºè…”ä½“ï¼Œä¹Ÿå¯æ ¹æ®ç”¨æˆ·å·¥è‰ºéœ€æ±‚é…置多路气体。5%è®¾å®šæ¸©åº¦åŠ çƒæ–¹å¼çº¢å¤–å¤ç´ ç¯ï¼Œç”µé˜»ä¸ç‰çœŸç©ºåº¦10mTorr以下目录1产å“特点2应用领域3设备说明4硬件更æ¢5ä¿å…»å‘¨æœŸäº§å“ç‰¹ç‚¹æ’æŠ¥ç¼–è¾‘å¿«é€Ÿé€€ç«ç‚‰ï¼ˆèŠ¯ç‰‡çƒå¤„ç†è®¾å¤‡ï¼‰å¹¿æ³›åº”用在IC晶圆ã€LED晶圆ã€MEMSã€åŒ–åˆç‰©åŠå¯¼ä½“和功率器件ç‰å¤šç§èŠ¯ç‰‡äº§å“的生产,和欧姆接触快速åˆé‡‘ã€ç¦»å注入退ç«ã€æ°§åŒ–ç‰©ç”Ÿé•¿ã€æ¶ˆé™¤åº”力和致密化ç‰å·¥è‰ºå½“ä¸ï¼Œé€šè¿‡å¿«é€Ÿçƒå¤„ç†ä»¥æ”¹å–„æ™¶ä½“ç»“æž„å’Œå…‰ç”µæ€§èƒ½ï¼ŒæŠ€æœ¯æŒ‡æ ‡é«˜ã€å·¥è‰ºå¤æ‚ã€ä¸“用性强。
½ð²©±¦ÍøÕ¾-ç²¾é€‰ä¼˜è¯„ï¼æ¹–北真空气氛箱å¼ç”µç‚‰è¿‘æœŸä»·æ ¼(2024已更新)(今日/优选), 图2真空管æé€€ç«ç‚‰è°ƒè¯•å†…å®¹æ’æŠ¥ç¼–è¾‘æ–™è½¦æŽ¨æ‹‰æœºæž„ç‚¹åŠ¨å‡é€Ÿæœºç”µæœºæŒ‰é’®ï¼Œæ£€æŸ¥ç”µæœºè½¬å‘是å¦ç¬¦åˆæŽ¨æ‹‰æ–¹å‘è¦æ±‚ï¼›æŠŠæŽ¨æ‹‰æ†æŒ‚上料车,å¯åŠ¨æŒ‰é’®æŠŠæ–™è½¦åœ¨å…¨ç¨‹èŒƒå›´å†…è·‘åŠ¨å‡ æ¬¡ï¼Œæ£€æŸ¥å„连接处ã€è½¦è½®åŠè½´æ‰¿å¤„æœ‰æ— å¼‚å¸¸ï¼›æ£€æŸ¥æŽ¨æ‹‰å°è½¦å‰åŽé™ä½çš„åŠ¨ä½œæƒ…å†µæ˜¯å¦æ£å¸¸ï¼›æ£€æŸ¥ç‚‰é—¨çš„å¼€å¯å’Œå…³é—æœ‰æ— å¡å¡žçŽ°è±¡ï¼›
æ·¬ç«æ± 是淬ç«çš„åœºæ‰€ï¼Œå°±æ˜¯ä¸€ä¸ªæ± åï¼Œé‡Œé¢æœ‰æ°´æº¶æ¶²æˆ–者是油,就是箱å¼ç‚‰å‡ºæ¥çš„工件淬ç«çš„冷å´çš„地方,一般就是直接丢进去,然åŽç‰ä¸€æ®µæ—¶é—´æžå‡ºæ¥ã€‚还有其他的一些设备,比如高频机,就是一个å¯ä»¥å°†50 èµ«å…¹çš„å·¥é¢‘ç”µå˜æˆä¸€ä¸ª200K 赫兹电æµçš„超大功率的设备,比如常è§çš„æœ‰ 200åƒç“¦çš„大功率,然åŽç”¨ä¸€ä¸ªå†…éƒ¨é€šå†·å´æ°´çš„铜管åšçš„线圈放在工件的外é¢ï¼Œä¸€èˆ¬å‡ 忝«ç±³çš„å·¥ä»¶ï¼Œå‡ ç§’ç§åˆ°åå‡ ç§’çš„æ—¶å€™ä½ å°±çœ‹åˆ°å·¥ä»¶è¡¨é¢å˜çº¢ï¼Œè¡¨é¢æ¸©åº¦åˆ°é¢„å®šå€¼çš„æ—¶å€™ï¼Œç„¶åŽæœ‰ä¸€ä¸ªæ°´å¥—å‡ä¸Šæ¥å–·æ·¬ç«æ¶²åˆ°å·¥ä»¶ 表é¢ï¼Œå®Œæˆæ·¬ç«è¿‡ç¨‹ã€‚常è§çš„就这些了。
½ð²©±¦ÍøÕ¾-ç²¾é€‰ä¼˜è¯„ï¼æ¹–北真空气氛箱å¼ç”µç‚‰è¿‘æœŸä»·æ ¼(2024已更新)(今日/优选), éšç€åŠå¯¼ä½“市场的迅猛å‘展和技术进æ¥ï¼Œå¯¹çƒå¤„ç†æŠ€æœ¯çš„è¦æ±‚也日益æé«˜ï¼Œä¸ºæ»¡è¶³å¸‚场高速å‘展需求,åšè§†å¹¿è¾¾ç§¯æžæŽ¢ç´¢å¿«é€Ÿçƒé€€ç«åº”用方案,å‡å€Ÿå¤šå¹´æŠ€æœ¯ä¼˜åŠ¿åŠä¸°å¯Œç»éªŒï¼Œè‡ªä¸»ç ”å‘æŽ¨å‡ºRTP-3-06 ã€RTP-3-08 ç‰è‡ªç«‹å¼å¿«é€Ÿé€€ç«ç‚‰ã€‚æ¤åºåˆ—快速退ç«ç‚‰åˆ†åˆ«èƒ½å¤Ÿå¤„ç†1-8æ—¶æ ·æœ¬ï¼Œä¸ºIC晶圆ã€LED晶圆ã€MEMSã€åŒ–åˆç‰©åŠå¯¼ä½“和功率器件ç‰å¤šç§èŠ¯ç‰‡äº§å“的生产æä¾›å¼ºæœ‰åŠ›çš„æŠ€æœ¯æ”¯æŒã€‚· åšè§†å¹¿è¾¾RTP快速退ç«ç‚‰æŠ€æœ¯ä¼˜åŠ¿é‡‡ç”¨çº¢å¤–è¾å°„åŠ çƒåŠå†·å£æŠ€æœ¯ï¼Œå¯å®žçŽ°å®žéªŒæ ·å“çš„å¿«é€Ÿå‡æ¸©å’Œé™æ¸©ï¼Œå®Œæˆç‰¹å®šæ¡ä»¶ä¸‹çš„çƒå¤„ç†å·¥è‰ºã€‚支æŒå¤šç§é…置选择,如å¯é€‰æ‹© SECS/GEMã€1-4路气氛ã€è‡ªåЍ开关闍ã€ç¯å…‰åˆ†åŒºæŽ§åˆ¶ã€PID 自动é…ç½®ç‰ï¼›å¯å®žçŽ°ç‚‰å£æ¸©åº¦ç›‘è§†ã€æ°´å†·å¼‚常监视ã€çœŸç©ºåº¦ç›‘视ã€è…”体压力监视ç‰ï¼›æœ‰ä¸°å¯Œçš„附件选择: 碳化硅石墨托盘ã€çŸ³è‹±æ ·å“托 æž¶ã€çº¢å¤–åŠ çƒç¯ç®¡ã€çŸ³è‹±è…”体/æ¿ã€TC-Wafer æ ¡å‡†ä»ªç‰ã€‚
图1表示的是ä¸åŒäº§å“çš„ç†è®ºé€€ç«æ¸©åº¦ï¼Œä»…ä¾›å‚考。å¦å¤–,炉膛温度也对镀锌产å“表é¢è´¨é‡èµ·åˆ°å¾ˆç«ä½œç”¨ã€‚对于改良森å‰ç±³å°”法çƒé•€é”Œçº¿ï¼Œåœ¨NOF段炉膛温度愈高,越有利于æ¿é¢ä¸Šæ²¹æ±¡åŠæ‚è´¨çš„æ¸…é™¤ã€‚è€Œä¸”å®žè·µè¯æ˜Žé«˜ç‚‰æ¸©èƒ½ä¿è¯NOFæ®µçš„æ— æ°§åŒ–æ°”æ°›ï¼Œå°½å¯èƒ½é¿å…带钢的次氧化,有利于RTH段还原作用的进行。
½ð²©±¦ÍøÕ¾-ç²¾é€‰ä¼˜è¯„ï¼æ¹–北真空气氛箱å¼ç”µç‚‰è¿‘æœŸä»·æ ¼(2024已更新)(今日/优选),   低温氮碳共渗的温度较低,这时碳原å的扩散能力较弱,且é“ç´ ä½“æº¶ç¢³èƒ½åŠ›å¾ˆä½Ž,æ˜¯ä»¥æ¸—æ°®ä¸ºä¸»ï¼Œå½¢æˆæ°®ç¢³åŒ–åˆç‰©å±‚。由于渗层硬度比渗氮层低,所以åˆç§°è½¯æ°®åŒ–ã€‚ã€€ã€€å¸¸ç”¨çš„æ°®ç¢³å…±æ¸—æ–¹æ³•æœ‰æ¶²ä½“æ³•å’Œæ°”ä½“æ³•ã€‚å¤„ç†æ¸©åº¦530~570â„ƒï¼Œä¿æ¸©æ—¶é—´1~3å°æ—¶ã€‚æ—©æœŸçš„æ¶²ä½“ç›æµ´ç”¨æ°°ç›ï¼Œä»¥åŽåˆå‡ºçŽ°å¤šç§ç›æµ´é…方。常用的有两ç§ï¼šä¸æ€§ç›é€šæ°¨æ°”å’Œä»¥å°¿ç´ åŠ ç¢³é…¸ç›ä¸ºä¸»çš„ç›ï¼Œä½†è¿™äº›ååº”äº§ç‰©ä»æœ‰æ¯’ã€‚æ°”ä½“ä»‹è´¨ä¸»è¦æœ‰ï¼šå¸çƒå¼æˆ–放çƒå¼æ°”体(è§å¯æŽ§æ°”æ°›ï¼‰åŠ æ°¨æ°”ï¼›å°¿ç´ çƒåˆ†è§£æ°”;滴注å«ç¢³ã€æ°®çš„,如甲酰胺ã€ä¹™é†‡èƒºç‰ã€‚
  3.冷炉使用时,由于炉膛是冷的,须大é‡å¸çƒï¼Œæ‰€ä»¥ä½Žæ¸©æ®µå‡æ¸©é€Ÿçއ䏿˜“è¿‡å¿«ï¼Œå„æ¸©åº¦æ®µçš„凿¸©é€ŸçŽ‡å·®åˆ«ä¸æ˜“å¤ªå¤§ï¼Œè®¾ç½®å‡æ¸©é€ŸçŽ‡æ—¶åº”å……åˆ†è€ƒè™‘æ‰€çƒ§ç»“ææ–™çš„物ç†åŒ–妿€§è´¨ï¼Œä»¥å…出现喷料现象,污染炉管。  4.定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是å¦è‰¯å¥½ï¼Œåº”特别注æ„åŠ çƒå…ƒä»¶çš„å„连接点的连接是å¦ç´§å›ºã€‚  5.炉å使用过一段时间åŽï¼Œè‹¥çœŸç©ºåº¦é™ä½Žï¼Œå¯åˆ†åˆ«æ›´æ¢ä¸é”ˆé’¢æ³•å…°ç›˜ä¹‹é—´çš„è€æ¸©ç¡…èƒ¶åœˆæˆ–é‡æ–°å®‰è£…ä¸é”ˆé’¢æ³•兰盘或更æ¢ä¿®ç†çœŸç©ºç³»ç»Ÿï¼Œä»¥æé«˜ç³»ç»Ÿçš„æ•´ä½“真空度。